知识星球里的学员问：如下图，两个晶体管之间用的是USG隔离，而在接触层却用的是PSG进行电气隔离，这是为什么？
什么是USG,PSG？
USG，全名未掺杂硅酸盐玻璃。也就是说USG 不含任何掺杂元素。
PSG，全名磷掺杂硅酸盐玻璃。在SiO2中掺杂了磷元素。
USG与PSG的性质对比？
性质 | USG | PSG |
化学组成 | 纯二氧化硅（SiO₂） | 二氧化硅（SiO₂）+ 磷（P） |
掺杂元素 | 无掺杂元素 | 含有磷（通常为3-8%） |
流动性 | 流动性较差，高温下较难流动 | 流动性好，高温下易流动 |
热稳定性 | 高温下非常稳定，不易扩散 | 高温下可能会有磷扩散 |
绝缘性 | 绝缘性能好 | 绝缘性良好 |
硬度 | 化学稳定性好，不易与其他材料反应 | 稳定性好，但磷扩散需要控制 |
为什么PSG不能用于晶体管间的隔离？
在高温下，PSG中的磷会扩散到相邻的硅区域，特别是在高精度节点下，这种扩散会影响器件的阈值电压等关键参数。
而在接触层可以用PSG，是因为在接触层工艺中，PSG可以有效填充小的孔洞和缝隙,形成更加平坦的表面，减少表面不均匀性。另一方面PSG中的磷可以有效缓解机械应力。
